摘要：利用掃描電鏡研究φ0.025 mm的Ag-0.8Au-0.3Pd-0.03Ru銀基鍵合線不同鍵合參數(shù)對(duì)無(wú)空氣焊球(free air ball,FAB)形狀及球焊點(diǎn)、楔焊點(diǎn)形貌的影響,結(jié)果表明,燒球電流或者燒球時(shí)間其中之一不變時(shí),FAB直徑隨著燒球時(shí)間(燒球電流一定)和燒球電流(燒球時(shí)間一定)的增加而增大,燒球電流為30 mA、燒球時(shí)間為700μs時(shí),鍵合線FAB呈標(biāo)準(zhǔn)圓球形;鍵合壓力一定時(shí),鍵合線球焊點(diǎn)焊盤直徑隨著超聲功率的增大而顯著增加,鍵合功率為80 mW、鍵合壓力0.30 N時(shí),球焊點(diǎn)具有較好的微觀形貌;鍵合壓力為0.25 N,超聲功率為80 mW時(shí),楔焊點(diǎn)具有規(guī)則的魚尾形貌,并具有較好的連接強(qiáng)度。