摘要：為改善硅片背面減薄效果,在樹脂結(jié)合劑硅片減薄砂輪里添加造孔劑.通過體積密度測(cè)試、掃描電鏡觀察和磨削實(shí)驗(yàn),研究造孔劑含量對(duì)樹脂結(jié)合劑砂輪結(jié)構(gòu)和磨削性能的影響.結(jié)果表明:隨著造孔劑體積分?jǐn)?shù)增加、投料比降低,砂輪內(nèi)部孔隙率增大;且磨削實(shí)驗(yàn)證明造孔劑可以提高硅片的表面質(zhì)量.當(dāng)造孔劑添加體積分?jǐn)?shù)在10%、體積密度投料比控制在75%時(shí),樹脂結(jié)合劑硅片減薄砂輪在磨削過程中具有較好的綜合磨削性能,磨削出來的硅片表面粗糙度R a、R z、R y值波動(dòng)范圍小,與其他條件下的砂輪磨削的硅片相比,表面一致性好.
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