摘要：矩形微通道式微懸臂梁傳感器可用于檢測單個微粒子或細胞的質量,在生物和化學等領域具有非常廣泛的應用前景。設計了一種含有矩形微通道的微懸臂梁結構,建立了單個微粒子等效的集中載荷在微懸臂梁中矩形微通道的任意位置時彎曲撓度的理論模型,分析了靜態(tài)工作模式下的彎曲撓度變化以及研究了單個微粒子的質量及位置對微懸臂梁的彎曲撓度的影響,并用COMSOL Multiphysics仿真軟件對矩形微通道式微懸臂梁的彎曲變形進行仿真計算,彎曲撓度的仿真結果與理論計算結果相對誤差為1.2%。實驗驗證了在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微粒子的作用下,微懸臂梁的最大彎曲撓度為2.741μm。