摘要：顱內(nèi)壓力的監(jiān)測(cè)對(duì)顱內(nèi)疾病的診斷和治療有重要的作用,基于硅的壓阻效應(yīng),設(shè)計(jì)了一種可用于人體顱內(nèi)壓力監(jiān)測(cè)的植入式壓力傳感器。根據(jù)壓阻效應(yīng)原理和薄板變形理論,完成了顱壓傳感器力學(xué)結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的設(shè)計(jì),然后采用微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝完成了敏感芯片的制備,并提出了一種具有生物兼容性的絕緣封裝結(jié)構(gòu)。同時(shí)搭建了絕緣性測(cè)試平臺(tái)和性能測(cè)試平臺(tái),通過測(cè)試證明封裝后的傳感器具有良好的絕緣性和抗?jié)B透能力,且其靈敏度可達(dá)到1.608 mV/kPa,可對(duì)顱壓的變化做出響應(yīng),為顱壓傳感器的批量化生產(chǎn)奠定了研究基礎(chǔ)。