摘要：本文介紹了激光清洗技術(shù)在微電子領(lǐng)域的應(yīng)用,對該技術(shù)在清除細(xì)微顆粒方面所具有的獨(dú)到的優(yōu)越性進(jìn)行了探討.
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期刊名稱：洗凈技術(shù)
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