摘要：采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積與原位滲氮復(fù)合技術(shù)在硅片和軸承鋼球上制備了類石墨碳薄膜,將兩者組成摩擦配伍對(duì),并討論自配對(duì)類石墨薄膜在氮?dú)庵心Σ翆W(xué)行為。利用往復(fù)摩擦機(jī)、掃描電子顯微鏡、三維表面輪廓儀考察自配對(duì)類石墨碳薄膜在不同載荷下摩擦磨損性能;采用高分辨透射電鏡、拉曼光譜和紅外吸收譜分析類石墨碳薄膜摩擦前后結(jié)構(gòu)變化。摩擦測(cè)試結(jié)果表明:在載荷4 N時(shí),薄膜摩擦因數(shù)為0.01;在8 N時(shí),薄膜摩擦因數(shù)降低到0.005。這種變化歸因于摩擦誘導(dǎo)薄膜結(jié)構(gòu)進(jìn)一步有序化以及沿滑動(dòng)方向形成更加有序且更長(zhǎng)石墨烯以及片狀磨屑。證實(shí)了采用自配對(duì)碳薄膜方案是實(shí)現(xiàn)固體超滑一種有效途徑。